会议论文《基于SOI微型电场传感器的设计》介绍了利用硅-on-绝缘体(SOI)技术设计的微型电场传感器。该传感器具有体积小、灵敏度高和功耗低等优点,适用于多种电子测量场景。文章详细阐述了传感器的结构设计、工作原理及性能测试结果,展示了其在实际应用中的潜力,为微电子器件的发展提供了新的思路。
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