会议论文《基于ANSYS的多晶硅还原炉热流场的数值模拟》探讨了利用ANSYS软件对多晶硅还原炉内热流场进行数值模拟的方法与结果。研究旨在优化还原炉内部温度分布，提高多晶硅生产效率和质量。通过建立三维模型并进行仿真分析，论文为实际工艺改进提供了理论依据和技术支持。
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