基于ANSYS的电容位移传感器设计 - 2009四川省电子学会半导体与集成技术专委会学术年会.pdf

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2026-1-11 14:54 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于ANSYS的电容位移传感器设计》发表于2009年四川省电子学会半导体与集成技术专委会学术年会。该文利用ANSYS软件对电容位移传感器进行仿真设计,分析了传感器结构参数对其性能的影响,提出了优化设计方案,为提高传感器精度和稳定性提供了理论依据和技术支持。

文档为pdf格式,0.33MB,总共3页。

基于ANSYS的电容位移传感器设计 - 2009四川省电子学会半导体与集成技术专委会学术年会
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