厚膜半导体工艺在气敏元件生产中的应用 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2026-1-11 14:05 | 查看全部 阅读模式

会议论文《厚膜半导体工艺在气敏元件生产中的应用》探讨了厚膜技术在气敏元件制造中的关键作用。文章分析了该工艺的原理、制备方法及其对传感器性能的影响,展示了其在提高灵敏度和稳定性方面的优势。通过实验验证,表明厚膜半导体材料在气体检测领域具有广阔的应用前景。

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厚膜半导体工艺在气敏元件生产中的应用 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议
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