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GaN基LED外延片表面处理对器件漏电流的影响 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 07:34 | 查看全部阅读模式

会议论文《GaN基LED外延片表面处理对器件漏电流的影响》探讨了不同表面处理工艺对GaN基LED漏电流特性的影响。研究结果表明，适当的表面处理可以有效降低器件漏电流，提高器件性能和可靠性。该论文为优化GaN基LED制造工艺提供了重要参考。

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GaN基LED外延片表面处理对器件漏电流的影响 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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器件, 漏电, 外延, 化合物, 微波

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