用于扫描等离子体无掩膜刻蚀的微悬臂梁的设计和制作 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会.pdf

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2026-1-11 20:29 | 查看全部阅读模式

会议论文《用于扫描等离子体无掩膜刻蚀的微悬臂梁的设计和制作》介绍了基于微机电系统技术设计的一种新型微悬臂梁结构。该结构用于实现高精度的扫描等离子体无掩膜刻蚀，具有良好的机械性能和稳定性。论文详细阐述了微悬臂梁的设计原理、制作工艺及实验结果，为微纳加工领域提供了新的解决方案。

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