会议论文《模糊神经网络在微电铸层内应力研究中的应用》发表于中国微米纳米技术学会第十一届学术年会。该文提出利用模糊神经网络模型对微电铸层内应力进行预测与分析,有效提高了微尺度制造中应力控制的精度与效率,为微电子器件的可靠性研究提供了新的方法支持。
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