深亚微米集成电路ESD器件设计研究 - 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议.pdf

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2026-1-11 19:48 | 查看全部 阅读模式

会议论文《深亚微米集成电路ESD器件设计研究》探讨了在深亚微米技术下静电放电(ESD)保护器件的设计方法。文章分析了ESD器件在先进工艺中的性能要求,提出优化结构以提高保护能力并降低面积。研究对提升集成电路可靠性具有重要意义,为后续芯片设计提供了理论支持和技术参考。

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深亚微米集成电路ESD器件设计研究 - 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议
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