用于微等离子体无掩膜加工的带纳米孔空心针尖制作工艺研究 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会.pdf

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2026-1-11 20:29 | 查看全部阅读模式

会议论文《用于微等离子体无掩膜加工的带纳米孔空心针尖制作工艺研究》介绍了基于纳米孔空心针尖的微等离子体无掩膜加工技术。该研究提出了一种新型针尖制作工艺，通过精密加工方法在针尖上形成纳米级孔洞，提升了等离子体生成效率和加工精度。该技术有望在微电子和生物医学领域实现高精度、低成本的材料加工。

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