氩气等离子体刻蚀石墨烯片来增强其场发射性能 - 中国电子学会真空电子学分会第十七届学术年会暨军用微波管研讨会.pdf

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2026-1-11 18:59 | 查看全部 阅读模式

会议论文《氩气等离子体刻蚀石墨烯片来增强其场发射性能》介绍了通过氩气等离子体刻蚀技术对石墨烯片进行处理,以提高其场发射性能的研究。该方法能够有效改善石墨烯的表面形貌和电子结构,从而提升其在场发射器件中的应用潜力。研究结果表明,适当的刻蚀参数可显著降低开启电场,增强发射电流密度,为高性能场发射材料的制备提供了新思路。

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氩气等离子体刻蚀石墨烯片来增强其场发射性能 - 中国电子学会真空电子学分会第十七届学术年会暨军用微波管研讨会
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