会议论文《测量体硅梁机械特性的片上拉伸试验机》发表于中国微米纳米技术学会第十一届学术年会。该研究提出一种微型化的片上拉伸试验机，用于精确测量体硅梁的机械性能。通过集成微加工技术，实现了对微尺度结构的高精度力学测试，为微机电系统的设计与优化提供了重要数据支持。
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