会议论文《湿法刻蚀对ZnO_Al透明导电薄膜结构与性能的影响》探讨了湿法刻蚀工艺对ZnO_Al透明导电薄膜的结构和光电性能的影响。研究通过分析不同刻蚀条件下的薄膜表面形貌、晶体结构及电学性能，揭示了刻蚀参数对薄膜质量的关键作用，为优化透明导电薄膜制备工艺提供了理论依据。
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