会议论文《电容式MEMS温度传感器瞬态响应时分析与实验》探讨了电容式MEMS温度传感器在温度变化时的瞬态响应特性。通过理论分析与实验测试，研究者评估了传感器在不同温度梯度下的响应速度与稳定性，为提高传感器性能提供了参考依据。
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