会议论文《溶胶-凝胶法制备硅基纳米ZrO2薄膜湿敏元件》介绍了采用溶胶-凝胶法在硅基底上制备纳米ZrO2薄膜的过程，探讨了其作为湿敏元件的性能。该方法具有工艺简单、材料均匀性好等优点，所制备的薄膜对湿度变化表现出良好的灵敏度和响应特性，为微型湿敏传感器的发展提供了新思路。
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