本文研究了Sb掺杂对MOCVD生长ZnO薄膜性质的影响。通过改变Sb的掺杂浓度，分析了其对薄膜结构、光学和电学性能的影响。结果表明，适量Sb掺杂可改善ZnO薄膜的结晶质量与导电性能，同时对光学带边发射有显著增强作用。该研究为优化ZnO基光电器件性能提供了理论依据和实验参考。
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