Si基LaNiO3导电薄膜的制备 - 第十二届全国固体薄膜会议.pdf

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2026-1-11 00:41 | 查看全部 阅读模式

会议论文《Si基LaNiO3导电薄膜的制备》介绍了在硅基底上制备LaNiO3导电薄膜的研究。通过磁控溅射法成功制备出高质量薄膜,并对其结构和电学性能进行了表征。研究结果表明,该薄膜具有良好的导电性和热稳定性,适用于高温电子器件和传感器领域。该工作为LaNiO3在微电子中的应用提供了重要参考。

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Si基LaNiO3导电薄膜的制备 - 第十二届全国固体薄膜会议
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