一、基本信息
文档名称：GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范
文档格式：pdf格式
文档大小：2.89MB
总页数：68页
二、简介
《GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范》是中华人民共和国国家标准，适用于微电子生产设备的安装工程。该规范对施工过程中的技术要求、质量控制、安全措施及验收标准进行了明确规定，确保设备安装的可靠性与稳定性。规范内容涵盖设备基础、安装调试、电气系统、环境控制等多个方面，为工程建设提供了科学依据和技术指导。该标准的实施有助于提高微电子制造行业的工程质量和安全水平，促进产业健康发展。
三、预览
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