会议论文《微电子标准样片制备研究》发表于第五届中国测试学术会议,探讨了微电子领域中标准样片的制备方法与技术。文章分析了样片在测试过程中的关键作用,提出了提高其一致性和可靠性的解决方案。研究为微电子器件的性能评估提供了重要依据,对推动行业标准化具有积极意义。
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