会议论文《自动测试设备直流参数的校准及检定》发表于第一届中国微电子计量与测试技术研讨会,探讨了自动测试设备在直流参数校准与检定中的关键技术与方法。文章分析了校准流程中的误差来源,并提出了提高测量精度的解决方案,对提升微电子领域测试设备的可靠性具有重要参考价值。
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