制备光学薄膜的离子源技术 - 全国第十二届电子束离子束学术年会、第九届电子束焊接学术交流会、第十一届离子源学术交流会、高能束加工技术研讨会、第十届粒子加速器学术交流会暨荷电粒子源、粒子束会议.pdf

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2026-1-12 10:11 | 查看全部阅读模式

会议论文《制备光学薄膜的离子源技术》探讨了离子源在光学薄膜制备中的应用。文章介绍了不同类型的离子源及其工作原理，分析了其在薄膜沉积过程中的优势与挑战。通过实验研究，作者验证了离子源技术对提高薄膜质量、均匀性和附着力的有效性，为高精度光学器件的制造提供了理论支持和技术参考。

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