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在大气压下用冷等离子弧聚合SiOx薄膜研究 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.pdf

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2026-1-12 11:02 | 查看全部阅读模式

会议论文《在大气压下用冷等离子弧聚合SiOx薄膜研究》探讨了在大气压条件下利用冷等离子弧技术制备SiOx薄膜的工艺与性能。该研究为薄膜制备提供了新的思路，具有广泛的应用前景。

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在大气压下用冷等离子弧聚合SiOx薄膜研究 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.pdf

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学术, 表面工程, 第二届, 等离子, 薄膜

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