会议论文《磁控溅射法制备VO2_AZO双层膜的结构及光学性能研究》在第十四届全国固体薄膜学术会议上发表。该研究采用磁控溅射技术制备了VO2与AZO双层薄膜,系统分析了其结构特性与光学性能。通过XRD、SEM等手段表征了薄膜的晶体结构和表面形貌,并测试了其在可见光和红外波段的透过率与反射率。研究结果表明,该双层膜具有良好的光学调制性能,为智能窗材料的应用提供了理论依据。
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