会议论文《面向压力检测的SAW谐振器的设计与制作》发表于中国微米纳米技术学会第十一届学术年会。该文探讨了表面声波（SAW）谐振器在压力检测中的应用，介绍了其设计原理、结构优化及制作工艺。研究旨在提高SAW谐振器的灵敏度和稳定性，以满足微电子器件对高精度压力传感的需求。
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