会议论文《非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN_NbN多层膜》介绍了采用非对称双极脉冲反应磁控溅射技术制备TiN/NbN多层膜的工艺方法。该研究通过优化溅射参数，实现了薄膜的均匀生长与良好界面结合，提升了薄膜的硬度和耐磨性能。论文为高性能功能薄膜的制备提供了新思路，具有重要的应用价值。
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