高温超导磁控溅射装置的探讨 - 第十届超导学术交流会.pdf

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2026-1-11 22:51 | 查看全部 阅读模式

会议论文《高温超导磁控溅射装置的探讨》在第十届超导学术交流会上发表,重点分析了高温超导材料制备中的磁控溅射技术。文章探讨了该装置的工作原理、结构设计及优化方法,旨在提高薄膜质量与沉积效率。研究对高温超导器件的制备具有重要参考价值,为相关领域的技术发展提供了理论支持。

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高温超导磁控溅射装置的探讨 - 第十届超导学术交流会
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