静电梳齿驱动微夹钳的设计、制造和测试 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会.pdf

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2026-1-11 22:34 | 查看全部 阅读模式

会议论文《静电梳齿驱动微夹钳的设计、制造和测试》由中国微米纳米技术学会第十一届学术年会发表。该文介绍了基于静电梳齿驱动原理的微夹钳结构设计,详细阐述了其制造工艺及性能测试方法,展示了在微机电系统中的应用潜力,为微型操作器件的发展提供了重要参考。

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静电梳齿驱动微夹钳的设计、制造和测试 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
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