一、基本信息
文档名称：T_CASAS 060—2025_用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片
文档格式：pdf格式
文档大小：1.27MB
总页数：25页
二、简介
《T_CASAS 060—2025 用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片》是一项针对硅衬底上氮化镓外延片的技术规范，旨在提升高电子迁移率晶体管（HEMT）在功率器件中的性能。该标准规定了外延片的结构、尺寸、电学特性及表面质量等关键技术指标，确保产品在高频、高功率应用中的可靠性与一致性。适用于电力电子、射频通信等领域，推动半导体产业的标准化与高质量发展。
三、预览
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