会议论文《高方阻AZO透明导电薄膜的制备和光电特性》介绍了采用溅射法制备高方阻氧化铝掺杂锌（AZO）透明导电薄膜的研究。文章探讨了不同工艺参数对薄膜结构、光学和电学性能的影响，重点分析了其在高方阻条件下的光电特性。研究结果表明，优化工艺可获得具有优良透明性和导电性的AZO薄膜，为光电器件提供了新的材料选择。
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