射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜的结构及摩擦学性能研究 - 第十二届全国包装工程学术会议.pdf

会议论文《射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜的结构及摩擦学性能研究》探讨了通过射频等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石薄膜的工艺及其性能。文章分析了薄膜的微观结构与摩擦学特性，为提高材料表面性能提供了理论依据和技术支持。

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射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜的结构及摩擦学性能研究 - 第十二届全国包装工程学术会议.pdf

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