会议论文《射频高压耗尽PECVD技术制备高效率硅薄膜电池的研究》探讨了利用射频高压耗尽等离子体增强化学气相沉积技术制备高性能硅薄膜太阳能电池的方法。该研究通过优化工艺参数，提高了薄膜的均匀性和光电转换效率，为低成本、高效能的薄膜太阳能电池提供了新思路。
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