会议论文《多模式生长对蓝宝石衬底上AlN薄膜的影响》探讨了不同生长模式对AlN薄膜质量的影响。研究通过优化生长参数，提高了薄膜的结晶质量和表面平整度。该成果对于提升氮化铝在微波器件和光电器件中的应用性能具有重要意义。
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