大气压离子枪制备类金刚石薄膜的光谱诊断研究 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.pdf

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2026-1-12 12:52 | 查看全部阅读模式

会议论文《大气压离子枪制备类金刚石薄膜的光谱诊断研究》发表于第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛。该研究利用光谱诊断技术，对大气压下离子枪制备的类金刚石薄膜进行分析，探讨了其结构与性能之间的关系，为优化薄膜制备工艺提供了理论依据和技术支持。

文档为pdf格式，0.91MB，总共5页。