多弧离子镀制备TiN-Cu共沉积复合膜的研究 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.pdf

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2026-1-12 12:41 | 查看全部 阅读模式

会议论文《多弧离子镀制备TiN-Cu共沉积复合膜的研究》发表于第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛。该研究探讨了通过多弧离子镀技术制备TiN-Cu复合膜的工艺参数与性能特性,分析了铜元素在TiN基体中的分布及其对膜层硬度、耐磨性的影响,为高性能复合薄膜的制备提供了理论依据和技术支持。

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多弧离子镀制备TiN-Cu共沉积复合膜的研究 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
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