射频功率和沉积时间对类金刚石薄膜结构及摩擦学性能的影响 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.pdf

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2026-1-12 13:13 | 查看全部阅读模式

会议论文《射频功率和沉积时间对类金刚石薄膜结构及摩擦学性能的影响》探讨了射频功率和沉积时间对类金刚石薄膜微观结构及摩擦学性能的影响。研究通过实验分析，揭示了不同工艺参数下薄膜的硬度、表面形貌及摩擦系数的变化规律，为优化类金刚石薄膜制备工艺提供了理论依据和技术支持。

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