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单晶硅纳米薄膜在氢氟酸表面处理下的特性研究 - 第十二届全国固体薄膜会议.pdf

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会议论文《单晶硅纳米薄膜在氢氟酸表面处理下的特性研究》发表于第十二届全国固体薄膜会议，探讨了氢氟酸处理对单晶硅纳米薄膜表面形貌和化学性质的影响。研究通过实验分析了不同浓度和处理时间对薄膜性能的改变，为优化硅基材料的表面处理工艺提供了理论依据和技术支持。

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单晶硅纳米薄膜在氢氟酸表面处理下的特性研究 - 第十二届全国固体薄膜会议.pdf

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薄膜, 单晶硅, 氢氟酸, 固体, 纳米

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