会议论文《表面工艺多层薄膜热扩散系统在线测试分析》发表于中国微米纳米技术学会第十一届学术年会。该文针对多层薄膜材料在表面工艺中的热扩散特性，提出了一种在线测试分析方法，旨在提高薄膜质量控制的精度与效率。研究结合实验与模拟，分析了不同工艺参数对热扩散行为的影响，为微电子与纳米制造领域提供了重要的理论依据和技术支持。
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