会议论文《不同衬底对HWCVD制备多晶硅薄膜结晶性能的影响》探讨了不同衬底材料对化学气相沉积法制备多晶硅薄膜结晶质量的影响。研究通过实验分析了衬底类型、温度及气体条件对薄膜晶体结构和性能的作用，为优化多晶硅薄膜制备工艺提供了理论依据和技术支持，对提高光伏器件效率具有重要意义。
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