会议论文《Al掺杂ZnO薄膜的制备及红外光学性能的研究》介绍了通过溶胶-凝胶法和退火处理制备Al掺杂ZnO薄膜的方法。研究重点分析了Al掺杂对薄膜结构和红外光学性能的影响,结果表明适量Al掺杂可改善薄膜的红外透过率和光学性能,为新型红外器件提供了理论依据和技术支持。
文档为pdf格式,0.48MB,总共5页。
举报