Al掺杂ZnO薄膜的制备及红外光学性能的研究 - 第十五届全国高技术陶瓷学术年会.pdf

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2026-1-12 07:16 | 查看全部 阅读模式

会议论文《Al掺杂ZnO薄膜的制备及红外光学性能的研究》介绍了通过溶胶-凝胶法和退火处理制备Al掺杂ZnO薄膜的方法。研究重点分析了Al掺杂对薄膜结构和红外光学性能的影响,结果表明适量Al掺杂可改善薄膜的红外透过率和光学性能,为新型红外器件提供了理论依据和技术支持。

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Al掺杂ZnO薄膜的制备及红外光学性能的研究 - 第十五届全国高技术陶瓷学术年会
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