会议论文《Ti_Pt_Au-n-GaN欧姆接触电极研究》探讨了用于n型GaN的新型欧姆接触电极材料。通过实验分析，研究者优化了Ti/Pt/Au多层结构的工艺参数，显著降低了接触电阻，提高了电极性能。该研究对提高氮化镓基器件的效率和可靠性具有重要意义，为未来功率电子器件的发展提供了理论支持和技术参考。
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