会议论文《磁控溅射WO3薄膜的制备及其NO2气敏特性研究》介绍了采用磁控溅射法制备WO3薄膜的过程，并对其在NO2气体检测中的性能进行了研究。通过实验分析了薄膜的结构、表面形貌及气敏响应特性。结果表明，该薄膜对NO2具有良好的灵敏度和选择性，为开发高性能气体传感器提供了理论依据和技术支持。
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