微电子工厂的大宗气供应系统的设计建造 - 中国动力工程学会工业气体专业委员会2013年年会暨工业气体供应技术论坛.pdf

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2026-1-10 05:22 | 查看全部阅读模式

会议论文《微电子工厂的大宗气供应系统的设计建造》介绍了微电子工厂中大宗气体供应系统的设计与建设方法。文章分析了系统设计的关键技术，包括气体纯度、输送安全和系统稳定性等重要方面。作者结合实际案例，探讨了工业气体在微电子制造中的应用需求及解决方案，为相关领域的工程实践提供了参考依据。

文档为pdf格式，0.41MB，总共11页。