半导体工厂大宗气体供应系统的工程实践 - 中国动力工程学会工业气体专业委员会2013年年会暨工业气体供应技术论坛.pdf

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2026-1-10 03:10 | 查看全部阅读模式

会议论文《半导体工厂大宗气体供应系统的工程实践》由中国动力工程学会工业气体专业委员会2013年年会暨工业气体供应技术论坛发表。该文详细介绍了半导体制造过程中大宗气体供应系统的设计与实施，涵盖了气体种类、输送方式、安全控制及系统优化等方面，为提升半导体工厂的气体供应效率和安全性提供了重要参考。

文档为pdf格式，0.49MB，总共7页。