会议论文《含间隙IC切筋成形机构的动力学分析》发表于2013年中国机构与机器科学应用国际会议(2013 CCAMMS)。该文研究了含有间隙的IC切筋成形机构的动力学特性,分析了间隙对系统运动精度和稳定性的影响,提出了优化设计方法,为提高集成电路制造设备的性能提供了理论依据和技术支持。
文档为pdf格式,1.17MB,总共4页。
举报