含间隙IC切筋成形机构的动力学分析 - 中国机构与机器科学应用国际会议(2013 CCAMMS).pdf

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2026-1-10 18:08 | 查看全部 阅读模式

会议论文《含间隙IC切筋成形机构的动力学分析》发表于2013年中国机构与机器科学应用国际会议(2013 CCAMMS)。该文研究了含有间隙的IC切筋成形机构的动力学特性,分析了间隙对系统运动精度和稳定性的影响,提出了优化设计方法,为提高集成电路制造设备的性能提供了理论依据和技术支持。

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含间隙IC切筋成形机构的动力学分析 - 中国机构与机器科学应用国际会议(2013 CCAMMS)
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