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不同薄膜沉积工艺对Au结构和ZnO电阻性能的影响 - 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2026-1-10 02:14 | 查看全部阅读模式

会议论文《不同薄膜沉积工艺对Au结构和ZnO电阻性能的影响》探讨了不同沉积方法对金膜结构及氧化锌电阻性能的影响。研究通过对比多种工艺参数，分析了薄膜微观结构与电学性能之间的关系，为优化传感器材料性能提供了理论依据和技术支持。

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不同薄膜沉积工艺对Au结构和ZnO电阻性能的影响 - 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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