TSV缺陷自动检测电路的研究 - 第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议.pdf

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2026-1-10 01:45 | 查看全部 阅读模式

会议论文《TSV缺陷自动检测电路的研究》介绍了针对三维封装中硅通孔(TSV)缺陷的自动检测技术。该研究提出了一种高效、可靠的检测电路方案,能够显著提升TSV结构的质量与良率。通过实验验证,该方法在检测精度和速度方面均表现出良好性能,为先进封装技术的发展提供了重要支持。

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TSV缺陷自动检测电路的研究 - 第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
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