非极性AlN薄膜的外延生长及光学性质 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf

本文介绍了非极性AlN薄膜的外延生长及其光学性质的研究。通过特定的生长技术，在衬底上成功制备了高质量的非极性AlN薄膜。研究分析了薄膜的结构和光学特性，结果表明其具有优良的光学性能，为相关光电器件的应用提供了理论基础和技术支持。

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2025-12-14 20:51 上传 非极性AlN薄膜的外延生长及光学性质 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf

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