一、基本信息
文档名称：T_ZJCX 0049—2024_碳化硅衬底激光剥离设备
文档格式：pdf格式
文档大小：0.33MB
总页数：11页
二、简介
《T_ZJCX 0049—2024_碳化硅衬底激光剥离设备》是一项针对碳化硅衬底激光剥离设备的行业标准。该标准规定了设备的技术要求、测试方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等内容，旨在提升碳化硅材料加工的精度与效率。标准适用于采用激光技术进行碳化硅衬底剥离的设备，为相关企业的生产与研发提供了统一的技术规范。通过该标准的实施，有助于推动半导体材料领域的发展，提高产品质量和市场竞争力。
三、预览
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