蓝光LED的Si基图形化衬底制备技术 - 中国长三角照明科技论坛(2012·杭州).pdf

论文《蓝光LED的Si基图形化衬底制备技术》介绍了基于硅基的图形化衬底在蓝光LED中的应用。通过优化衬底结构，提高了LED的光输出效率和可靠性。研究采用先进的微加工技术，实现衬底的纳米级图案化，为高亮度、低能耗的LED器件提供了技术支持。该成果对推动半导体照明技术的发展具有重要意义。

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