文档名：用于特殊环境的薄膜应变计的制备与表征
摘要：使用磁控溅射制备了卡玛合金薄膜应变计,研究了退火温度对薄膜微观结构的影响,测试了薄膜的电学性能以及压阻响应特性,并进行了环境实验.结果表明,随着退火温度升高,薄膜的电阻率逐渐下降,电阻温度系数则逐渐升高,在室温下有最小的电阻温度系数(TCR),约为59.9×10-6/℃,经过200℃退火处理的薄膜应变计的应变灵敏度系数(GF)为2.2,TCR为64.4×10-6/℃.经历温湿循环、盐雾、霉菌试验后,薄膜的压阻特性变化不大,能耐受海洋特殊环境.
Abstract：RFsputteringisusedtocreateKarmaalloythinfilmstraingaugesonaluminasubstrates.Karmaalloythinfilms'changesine-lectricalcharacteristicsandstrainpropertiesatvariousannealingtemperaturesareevaluated,anditisdeterminedhowannealingtempera-tureaffectsthesurfacemorphologyandcrystalstructureofKarmaalloythinfilms.Theresultsdemonstratethatastheannealingtempera-tureincreases,theresistivityoftheKarmaalloythinfilmsgraduallydecreases,anditstemperaturecoefficientofresistancegraduallyin-creases.KarmathinfilmstraingagesarediscoveredtohavethelowestTCRof59.9×10-6/℃underroomtemperature.After200℃an-nealingprocess,theKarmaalloythinfilmsachievethegagefactorof2.2,andtheTCRof64.4×10-6/℃.Thepiezoresistivecharacteristicofthethinfilmchangesslightlyafterexperimentsoftemperaturehumiditycycling,saltspray,andmolding,ithasabilitytowithstandtheharshconditionsofthesea.
作者：张丛春 康志鹏 雷鹏 闫博 Author：ZHANGCongchun KANGZhipeng LEIPeng YANBo
作者单位：上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200240,China上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200240,China;上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240,China
刊名：传感技术学报 ISTICPKU
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2024, 37(4)
分类号：TP212.11
关键词：磁控溅射 薄膜应变计 电阻温度系数 应变因子 环境实验
Keywords：magnetronsputtering thin-filmstraingauge resistancetemperaturecoefficient strainfactor environmentalexperiments
机标分类号：TG156.2TP212TN304.055
在线出版日期：2024年6月5日
基金项目：慧眼行动项目用于特殊环境的薄膜应变计的制备与表征[
期刊论文] 传感技术学报--2024, 37(4)张丛春 康志鹏 雷鹏 闫博使用磁控溅射制备了卡玛合金薄膜应变计,研究了退火温度对薄膜微观结构的影响,测试了薄膜的电学性能以及压阻响应特性,并进行了环境实验.结果表明,随着退火温度升高,薄膜的电阻率逐渐下降,电阻温度系数则逐渐升高,在室温...参考文献和引证文献
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引证文献
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