功能薄膜火焰法沉积中硼化合物助剂的影响 - 第十七届全国高技术陶瓷学术年会.pdf

论文《功能薄膜火焰法沉积中硼化合物助剂的影响》探讨了在火焰法沉积过程中，硼化合物作为助剂对功能薄膜性能的影响。研究分析了不同硼化合物对沉积速率、薄膜结构及热稳定性的作用机制，为优化沉积工艺提供了理论依据。该成果对高性能陶瓷薄膜的制备具有重要指导意义。

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2025-12-14 21:53 上传 功能薄膜火焰法沉积中硼化合物助剂的影响 - 第十七届全国高技术陶瓷学术年会.pdf

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